高纯气体/特种气体配管及附件材质的选择

选择标准：

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料：目前超大规模及城电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量<=1.0*10-6 及以下的管材应用SS316L-EP管。

注意：

1、管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

2、对于自然爆炸，有剧毒的特种气体，如硅烷、硼烷、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接收到外力撞击，其次能将内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力报警器检知泄漏状态。

高纯气路配件-VCR接头的安装

1、安装步骤

安装前要确保TUBE管连接端的表面没有缺陷（无凹陷、凸起或刮痕等），端面经切割和平口成90度，并且去除了管内外毛刺。

VCR接头安装步骤：

（1）需要连接的VCR组件如图1所示。

（2）分别将外螺纹螺母（Male Nut）和内螺纹螺母（Female Nut）套在接头（Gland）上，然后分别同需要连接的TUBE管自动焊接（如图2、图3）。

（3）安装金属垫片：如果是带爪垫片，将垫片卡在Gland上（注意不要划伤Gland的密封面）；如果是无爪垫片，将垫片放进Female Nut内（如图4）。

（4）用手指拧紧内、外螺母（如图5）。

（5）用记号笔在内、外螺母的六角头上划线做记号（如图6）。

（6）用一个扳手固定外螺纹螺母，另一个扳手向内拧紧内螺纹螺母1/4圈（即90度）

说明1：安装VCR接头时，先用手指拧紧，然后用扳手到底要拧多少圈才算到位呢？我查过很多厂家的样本， Swagelok 、Parker、Hy -Lok 、TK SCT 、Ham -Let都是写的1/8圈；ASFLOW写的是1/8 ~ 1/6 圈；Fujikin写的是1/6圈。但我请教一些施工经验比较丰富的人（包括专门做高纯气体管道的公司工程师）他们说最好拧1/4 圈，这样比较保险，否则容易有泄漏隐患。 因此建议施工时还是拧 1/4 圈。

2、安装后检查

RVCR 接头如果没有拧到位，就有可能产生泄漏（有可能当时不漏，但会成为运行后的隐患）。现场管理人员可以通过如下两种方法进行检查：

（1）检查VCR接头上的标记，看是否拧了1/4圈；

（2）通过内螺纹螺母上的泄漏测试孔（Test Port）进行测试。

方法（1）简单易行，随时可以检查。但前提是工人施工时必须做好标记，否则没法检查。方法（2）虽然很可靠，但需要专门的仪器和设备，而且要更多的人力、物力，因此要根据项目的具体情况决定是否采用。

通过内螺纹螺母上的泄漏测试孔还可以检查是否安装了垫片。

3、安装注意事项

（1）一定要用记号笔做记号。一来工人自己可以确定是否拧到位，二来便于管理人员检查。

（2）内螺纹螺母不要拧过头。如果拧过头，可能会损坏螺纹形成泄漏隐患。

（3）拧紧VCR接头时，切勿旋转外螺纹螺母（或本体），而应固定外螺纹螺母（或本体），旋转内螺纹螺母。扳手一定要向内拧（如图7所示），可以避免因接头或扳手突然松动，而打到了工人自己或周围的设备、管道。

4）一定要用手指拧紧后，才能用扳手拧；切勿直接用扳手拧紧，否则会损坏螺纹。

（5）使用一头是螺纹连接的VCR接头（如 Male to Male NPT Connector、Male toFemale PT Connector）时要注意螺纹的类型（或标准），是NPT（60度圆锥管螺纹，美标产品常用）、PT（55度圆锥管螺纹，国内常用，日本也用得较多），还是其他类型。

（6）不要在管路有压力的情况下安装和紧固VCR接头。

（7）不要混用不同材质或不同品牌的VCR接头组件（本体、接头、螺母、垫片等）。

（8）必须保证VCR接头表面清洁（内包装塑料袋只有在安装时才能拆开）；安装过程要避免划伤表面（特别是密封面），要随时将敞开的接头封起来（可以用自带的塑料帽或无尘胶带，）。

（9）重新安装VCR接头时，必须更换新垫片。

特气柜的基本尺寸：单瓶500(w)*550(D)、双瓶700(w)*550(D)、三瓶1000(w)*550(D)

全自动特气柜标配：自动抽真空，自动吹扫，自动保压，自动切换，紧急切断，报警设置，远程通迅，触摸屏幕

半自动特气柜标配：手动抽真空，手动吹扫，手动保压，自动切换，紧急切断，报警设置，远程通迅

全手动特气柜标配：手动抽真空，手动吹扫，手动保压，手动切换

全手动特气柜简配：手动保压，手动切换，VENT放空

以上特气柜可选配：高温感应，紧急停止，加热系统，毒气报警，火焰探测，喷淋系统，烟雾感应，垫片式过滤器，精密过滤器

特气柜是专为腐性，毒性等危险性气体供应而设计的供应系统，基本功能包括自动吹扫，自动切换，以及自动切断（当设定报警信号被触发时）专业从事气体应用系统工程、电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统等全套工程技术服务和配套产品于一体的高新技术企业。

工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、新材料、新能源、光纤、精细化工、生物医药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业。为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案，逐步成为中国知名的整体系统供应商。

不锈钢减压器安装前及开启气瓶阀时的注意事项：安装减压器之前，要略打开氧气瓶阀门，吹除污物，以防灰尘和水分带入减压器。在开启气瓶阀时，瓶阀出气口不得对准操作者或他人，以防高压气体突然冲出伤人。减压器出气口与气体橡胶管接头处必须用退过火的铁丝或卡箍拧紧；防止送气后脱开发生危险。

不锈钢减压器冻结的处理。减压器在使用过程中如发现冻结，用热水或蒸汽解冻，绝不能用火焰或红铁烘烤。减压器加热后，必须吹掉其中残留的水分。

不锈钢减压器必须保持清洁。减压器上不得沾染油脂、污物，如有油脂，必须在擦拭干净后才能使用。各种气体的减压器及压力表不得调换使用，如用于氧气的减压器不能用于乙炔、石油气等系统中。

不锈钢减压器工作部分的气体因受绝热压缩而温度大大提高，这样有可能使有机材料制成的零件如橡胶填料、橡胶薄膜纤维质衬垫着火烧坏，并可使减压器完全烧坏。另外，由于放气过快产生的静电火花以及减压器有油污等，也会引起着火燃烧烧坏减压器零件。

不锈钢减压器安全使用：

使用不锈钢减压器应按下述规则执行：

(1)氧气瓶放气或开启减压器时动作必须缓慢。如果阀门开启速度过快，减压器工作部分的气体因受绝热压缩而温度大大提高，这样有可能使有机材料制成的零件如橡胶填料、橡胶薄膜纤维质衬垫着火烧坏，并可使减压器完全烧坏。另外，由于放气过快产生的静电火花以及减压器有油污等，也会引起着火燃烧烧坏减压器零件。

(2)减压器安装前及开启气瓶阀时的注意事项：安装减压器之前，要略打瓶阀门，吹除污物，以防灰尘和水分带入减压器。在开启气瓶阀时，瓶阀出气口不得对准操作者或他人，以防高压气体突然冲出伤人。减压器出气口与气体橡胶管接头处必须用退过火的铁丝或卡箍拧紧；防止送气后脱开发生危险。

(3)减压器装卸及工作时的注意事项：装卸减压器时必须注意防止管接头丝扣滑牙，以免旋装不牢而射出。在工作过程中必须注意观察工作压力表的压力数值。停止工作时应先松开减压器的调压螺钉，再关闭氧气瓶阀，并把减压器内的气体慢慢放尽，这样，可以保护弹簧和减压活门免受损坏。工作结束后，应从气瓶上取下减压器，加以妥善保存。

(4)减压器必须定期校修，压力表必须定期检验。这样做是为了确保调压的可靠性和压力表读数的准确性。在使用中如发现减压器有漏气现象、压力表针动作不灵等，应及时维修。

(5)减压器冻结的处理。减压器在使用过程中如发现冻结，用热水或蒸汽解冻，绝不能用火焰或红铁烘烤。减压器加热后，必须吹掉其中残留的水分。

(6)减压器必须保持清洁。减压器上不得沾染油脂、污物，如有油脂，必须在擦拭干净后才能使用。

(7)各种气体的减压器及压力表不得调换使用，如用于氧气的减压器不能用于乙炔、石油气等系统中。