美国ENTEGRIS英特格，超纯气体过滤产品

气体过滤和净化在空气、散装气体或特殊气体的过滤和净化方面，Entegris 拥有满足您需求的专业知识、技术和解决方案
无论是用于使用点还是散装气体输送，在腔室或晶圆上，在洁净室中还是在工具上，Entegris 在提供高性能气体和空气净化和过滤产品以满足您的需求方面有着悠久的历史。
AMC 过滤器
洁净室、扫描仪和加工工具化学空气过滤器

空气和气体过滤膜
用于空气和气体过滤的疏水 MCE 膜

气体过滤器
使用镍、不锈钢和 PTFE 膜技术控制气体过程中的污染

气体扩散器
快速排放到大气中，无需向腔室添加颗粒

气体净化器
有多种材料可用于将气体净化至万亿分之一 (ppt) 水平

PS14 常温气体净化器
气体净化器户外外壳
气体过滤器
镍、不锈钢、Hastelloy

和 PTFE 过滤技术。

Entegris 超纯气体过滤产品为超纯气体应用提供 0.0015 微米颗粒过滤。Wafergard

气体过滤器可实现更高的工艺气体吞吐量，同时减少整个气体箱的占地面积。
其他气体过滤器
Wafergard

GN 气体过滤枪是一种易于使用的轻型 POU（使用点）解决方案，用于控制气体污染。滤芯是用于各种半导体工艺的 Entegris 独家设计。

在线 PTFE 气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以大限度地减少压降并大限度地延长过滤器的使用寿命。从 Wafergard

和 Linegard

在线气体过滤器中进行选择。

在线不锈钢气体过滤器
Entegris 的在线不锈钢气体过滤器设计用于高压和高温应用。它们易于安装，无需更改设计。

在线镍气过滤器
Entegris 的超纯镍过滤器是用于高压、高温应用的清洁、高效的气体过滤产品。

表面贴装气体过滤器
Wafergard

气体过滤器可提供不锈钢或镍过滤器元件，提供终极工艺保护、卓越的耐腐蚀性以及与惰性气体、氢化物和反应性气体的出色兼容性。表面贴装设计在气体面板上占用的空间更少，并减少了零件库存和变化。我们的表面贴装气体过滤器产品组合包括 C-Seal 1.125" 和 W-Seal 1.125" 或 1.5" 格式。

在线合金 22 气体过滤器
Wafergard

IV 合金 22（通常称为 HASTELLOY

C-22

合金品牌）过滤器是可用于腐蚀性和超纯环境的清洁、有效的全金属过滤器。

在线 PTFE 气体过滤器
用于在低温应用中去除超纯颗粒的聚合物膜气体过滤器

我们的气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以大限度地减少压降并大限度地延长过滤器的使用寿命。从 Wafergard 和 Linegard 在线气体过滤器中进行选择。