Entegris英特格1/2 MVCR过滤器LGMXFPRR4全新现货报价-无锡远路贸易有限公司

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Entegris英特格1/2 MVCR过滤器LGMXFPRR4全新现货
LGMXFPRR4 1/2" Male VCR compatible 127.0 mm (5.00")

PART NUMBER	FITTING SIZE AND TYPE	LENGTH
WG2F02JJ2	1/4" Butt weld tube	133.4 mm (5.25")
WG2F02JJ4	1/2" Butt weld tube	133.4 mm (5.25")
WG2F02PS1	1/4" compression seal (compatible with Swagelok fitting) male inlet/outlet	115.5 mm (4.55")
WG2F02RR2	1/4" Gasket seal (compatible with VCR Fitting) male inlet/outlet	127.0 mm (5.00")
WG2F02RR4	1/2" Gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/outlet	133.4 mm (5.25")
WG2F32PS1	3/8" Compression seal (compatible with Swagelok fitting) male inlet/outlet	119.3 mm (4.70")

Materials	Membrane:	UPE*
	Supports, core, sleeve:	HDPE
	Housing:	PP
Membrane area	DI	1800 cm² (1.94 ft²)
	DI-L	3600 cm² (3.88 ft²)
	DI-L (20 nm)	2100 cm² (2.26 ft²)
Retention ratings	DI, DI-L	0.2, 0.1, 0.05 µm, 20 nm
Fittings	Available in a wide range of fittings including Super Type Pillar^® fittings, compression seal (Swagelok^® compatible fittings) and Flaretek^® fittings.
Operating conditions	Maximum inlet pressure	0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
	Maximum forward/reverse differential pressure	0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
		0.28 MPa (2.8 bar, 40 psi, 2.8 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
	Operating temperature	60°C (140°F)
*Surface-modified UPE
Entegris recommends that customers change filters at least annually to ensure optimal filtration performance. Routine annual changeout will also reduce the potential of chemical leakage that can result from excessive usage. Our standard warranty period is 1 year (from Entegris ship date).

REFERENCE MATERIALSProduct DocumentationPUBLISHED SEP 1, 2022Data SheetOptimizer® Point-of-use Photochemical Filters

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PUBLISHED JUL 1, 2021BrochureChasing the Perfect Pattern

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PART NUMBERSOptimizer® DI Filters Part Numbers

PART NUMBER	LITHOGRAPHY TECHNOLOGY	LENGTH	RETENTION RATING	CONNECTION
CBUG0L0S1	KrF	Long Capsule	0.2 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUG0S0F1	KrF	Short Capsule	0.2 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flaretek® fitting
CBUG0S0P1	KrF	Short Capsule	0.2 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super type Pillar® fitting
CBUG0S0S1	KrF	Short Capsule	0.2 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUG2L0P1	KrF	Long Capsule	0.2 µm	1/2" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fitting
CBUG3L0F1	KrF	Long Capsule	0.2 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flaretek® fitting
CBUG3L0P1	KrF	Long Capsule	0.2 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUG3L0S1	KrF	Long Capsule	0.2 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUG6S0P1	KrF	Short Capsule	0.2 µm	6 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUG8L0P1	KrF	Long Capsule	0.2 µm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUG8S0P1	KrF	Short Capsule	0.2 µm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUV0L0P1	KrF	Long Capsule	0.1 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super type Pillar® fitting
CBUV0L0S1	KrF	Long Capsule	0.1 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUV0S0F1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flaretek® fitting
CBUV0S0P1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super type Pillar® fitting
CBUV0S0S1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUV2L0P1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	1/2" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fitting
CBUV2S0S1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	1/2" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUV3L0F1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain Flaretek® fittings
CBUV3L0P1	KrF	Long Capsule	0.1 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUV3L0S1	KrF	Long Capsule	0.1 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUV3S0P1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUV6S0P1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	6 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUV8L0P1	KrF	Long Capsule	0.1 µm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUV8S0P1	KrF	Short Capsule	0.1 µm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUX3L0P1	ArF	Long Capsule	20 nm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUX8L0P1	ArF	Long Capsule	20 nm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUX8S0P1	ArF	Short Capsule	20 nm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUZ0L0F1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flaretek® fitting
CBUZ0L0S1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUZ0S0F1	KrF	Short Capsule	0.05 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flaretek® fitting
CBUZ0S0P1	KrF	Short Capsule	0.05 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super type Pillar® fitting
CBUZ0S0S1	KrF	Short Capsule	0.05 µm	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUZ2L0P1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	1/2" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fitting
CBUZ3L0F1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain Flaretek® fittings
CBUZ3L0P1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUZ3L0S1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, compression fittings
CBUZ3L0X1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	—
CBUZ6S0P1	KrF	Short Capsule	0.05 µm	6 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUZ8L0P1	KrF	Long Capsule	0.05 µm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings
CBUZ8S0P1	KrF	Short Capsule	0.05 µm	8 mm inlet/outlet, 4 mm vent/drain, Super Type Pillar® fittings

液体光化学过滤器设计用于使用点 (PoU) 光刻工艺中的去离子水应用。小胶囊外形和清洁的膜/支撑/外壳材料在 > 28 nm 节点应用中提供高纯度污染物去除性能。
应用
Optimizer 去离子过滤器应用
行业：半导体（光刻）
化学：光化学、溶剂
安装点：工具点
产品规格
材料   膜：   UP*
    支撑、芯、套筒：   高密度聚乙烯
    住房：   聚丙烯
膜面积   DI   1800 平方厘米（1.94 平方英尺）
    DI-L   3600 平方厘米（3.88 平方英尺）
    DI-L (20 纳米)   2100 平方厘米（2.26 平方英尺）
留存率   DI、DI-L   0.2、0.1、0.05 µm、20 nm
配件   提供多种接头，包括 Super Type Pillar 接头、压缩密封（Swagelok 兼容接头）和 Flaretek 接头。
运行条件   最大入口压力   0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
    最大正向/反向压差   0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
       0.28 MPa (2.8 bar, 40 psi, 2.8 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
    工作温度   60°C (140°F)
*表面改性UPE
Entegris 建议客户至少每年更换一次过滤器，以确保获得最佳过滤性能。例行的年度更换还将减少因过度使用而导致的化学品泄漏的可能性。
我们的标准保修期为 1 年（从 Entegris 发货日期算起）。

Optimizer DI 过滤器部件号
零件号   光刻技术   长度   留存率   联系
CBUG0L0S1   氯化钾   长胶囊   0.2微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUG0S0F1   氯化钾   短胶囊   0.2微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUG0S0P1   氯化钾   短胶囊   0.2微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUG0S0S1   氯化钾   短胶囊   0.2微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUG2L0P1   氯化钾   长胶囊   0.2微米   1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG3L0F1   氯化钾   长胶囊   0.2微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUG3L0P1   氯化钾   长胶囊   0.2微米   3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG3L0S1   氯化钾   长胶囊   0.2微米   3/8" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUG6S0P1   氯化钾   短胶囊   0.2微米   6 mm 入口/出口，4 mm 排气口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG8L0P1   氯化钾   长胶囊   0.2微米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG8S0P1   氯化钾   短胶囊   0.2微米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV0L0P1   氯化钾   长胶囊   0.1微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUV0L0S1   氯化钾   长胶囊   0.1微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV0S0F1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUV0S0P1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUV0S0S1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV2L0P1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV2S0S1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   1/2" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV3L0F1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口 Flaretek 接头
CBUV3L0P1   氯化钾   长胶囊   0.1微米   3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV3L0S1   氯化钾   长胶囊   0.1微米   3/8" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV3S0P1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV6S0P1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   6 mm 入口/出口，4 mm 排气口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV8L0P1   氯化钾   长胶囊   0.1微米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV8S0P1   氯化钾   短胶囊   0.1微米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUX3L0P1   射频   长胶囊   20纳米   3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUX8L0P1   射频   长胶囊   20纳米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUX8S0P1   射频   短胶囊   20纳米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ0L0F1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUZ0L0S1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUZ0S0F1   氯化钾   短胶囊   0.05 微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUZ0S0P1   氯化钾   短胶囊   0.05 微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUZ0S0S1   氯化钾   短胶囊   0.05 微米   1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUZ2L0P1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ3L0F1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口 Flaretek 接头
CBUZ3L0P1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ3L0S1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   3/8" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUZ3L0X1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   —
CBUZ6S0P1   氯化钾   短胶囊   0.05 微米   6 mm 入口/出口，4 mm 排气口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ8L0P1   氯化钾   长胶囊   0.05 微米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ8S0P1   氯化钾   短胶囊   0.05 微米   8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头

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