ACM200-12MB-S，Range : 100 mbar - 0.01 mbar , Fitting : 1/4 VCR Female
Type ACM200 Absolute Capacitance Manometer with 15-pin Type "D" Connector
ACM200-12MB-S，Range : 100 mbar - 0.01 mbar , Fitting : 1/4 VCR Female
Type ACM200 Absolute Capacitance Manometer with 15-pin Type "D" Connector
ACM200-12MB-S，Range : 100 mbar - 0.01 mbar , Fitting : 1/4 VCR Female
Type ACM200 Absolute Capacitance Manometer with 15-pin Type "D" Connector
品名: 电容薄膜真空计，品牌: ATOVAC，韩国阿托贝克型号: ACM200，1/4卡套管接头，+15VDC的电源，输出4~20mA 电流信号，量程0~100mbar，需耐腐蚀
欢迎来到 ATOVAC co.,ltd.
我公司成立于1997年10月，开始开发半导体生产过程中的气体和真空控制系统、测量等主要部件。
我们正在推动 MFC、MFC 控制器、对流压力计和控制器、离子压力计和控制器、电容压力计、节流阀控制器等智能组件的开发。我们 ATOVAC 将保持我们作为可靠和受人尊敬的公司的
地位未来和现在。请给我们更多的鼓励和建议。我们始终对客户的意见持开放态度。
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1997年
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成立GAT Co.LTD
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1998年
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开发GMC100A Controller, GMC1000 Controller,承接ITEP配套MFC开发
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1999年
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出口承包法国Qualiflow OEM MFC控制器开发高真空电离规控制器
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2000年
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开发气体流量控制软件
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2001年
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开发MFC控制器(GMC200A)、CM控制器(GPD-4)、皮拉尼真空计(CG201)、皮拉尼真空计控制器(CG2000)
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2003年
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开发GMC7100并与LG PDP Line（A2）签订供货合同，开发MFC控制器（GMC300D）
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2004年
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开发真空计控制器(GVC2200)
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2005年
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开发MFC控制器（GMC1100），
开发GVC2200并与LG PDP Line(A3)签约供货
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2006年
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开发MFC控制器GMC1200)
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2007年
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开发GAS Totalizer(GT1000), Voltage Meter(VM1000)
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2008年
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开发Throttle Valve(ATV1000), Valve Controller(GPC3000)
将公司名称更改为 ATOVAC Co.LTD & Expanding
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2009年
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取得节流阀CE认证，开发电容式压力计、节流阀(ATV2000)、质量流量控制器(MFC)
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2010年
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为三星提供电容式压力计、APC控制器和阀门
开发PoCl3 Process用APC Valve，APC Controller & MFC取得CE认证
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2012年
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开发增强对流真空计(EG301)
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2013年
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取得ISO9001
开发MEMS压力表(MPG)
开发高温计(EG400)
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2014年
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MPG取得防爆认证
办公室搬迁(龙仁)
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2015年
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引进CNC车床及MFC（加工中心），自建加工线。
成立附属研究所。
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2016年
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更新 EG301 & GPC3000
开发IGS TYPE用MFC(AFC500-IGS)
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产品
控制器
节流阀
流量和压力
真空计
其他的
多功能控制器
真空计
节流阀
MFC 箱面板和气流系统
ACM200 电容薄膜压力计，通常安装在真空腔体或管道上，读取实时压力，±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的，广泛用于半导体工程和真空工业设备。
节流阀
[APC200] APC200 [节流阀控制器]
APC200节流阀控制器
APC200 Pressure & Flow Controller 是一款用于节流阀的数字 PID 压力控制器
阀门，它可以提供 +/- 15VDC 的电源，并为连接的设备提供读数
电容压力计和四个质量流量控制器。
特点与优势
■ 最大4通道MFC控制输出（2,4通道可用）
■ RS-232C PC 接口，TTL 流开/关命令可用
产品
方面
规格
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阀门操作
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ATV1000 排气节流阀，MKS 型
653等
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压力输入信号
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标准：0-10 VDC
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| 需要输入功率 |
90-132 或 180-264 伏交流电，50/60 赫兹 |
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设定点
可编程的
外部模拟
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总共 5 个，可编程为压力或位置的任何组合
（可从前面板调整或 从前面板选择 RS232/RS485、TTL 或 RS232/RS485）
0-10 伏直流电
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控制器重复性
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满量程的 ±0.1%
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环境操作
温度
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150℃ - 450℃
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输出功率
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±15 VDC ±5% @ 1.5 安培
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模拟输出信号
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0-10 VDC 用于 0-100% 阀位和 0-10 VDC 用于 1-100%，FS 压力
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尺寸
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1/2 机架包装：88mm H x 241mm W x 225 D
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展示
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240x(RGB) X 320 像素透射式 LCD
（压力、位置和外部设定点读数）
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显示单位
慢启动
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Torr、mTorr、mbar、帕斯卡、cmH20、inH20、mbar、kpa 标准
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PID控制
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标准
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远程归零
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标准
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界面
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前面板，模拟，TTL 和 RS232，RS485
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继电器输出
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2、工艺限制：24 Volts AC/DC 0.5Amp resistive
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远程控制覆盖
（打开、关闭、保持）
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标准
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位置控制
能力
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标准
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备用电池
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不适用
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