性能特点
用于气体的质量流量控制器 (MFC) / 质量流量计 (MFM)
标称流量范围从 0.01 至 100 I/min(参考氮气)
测量精度高,重复性好
适用于腐蚀性气体
方便用户进行气体转换
通过配置存储器轻松更换设备
可选功能与配件
用于连接 Bürkert Communicator 软件的 USB büS 接口套件 2(8923 型):包括 büS 棒、连接 M12 插头的连接电缆、用于 büS 服务接口和 Y 型分配器的微型 USB M12 连接电缆,电缆长度:0.7 m:772551
菲尼克斯 2 类电源(1573 型),85 至 240 V AC/24 V DC,1.25 A,NEC 2 类 (UL 1310) :72438
用于标准导轨的电源装置(1573 型),100 至 240 V AC/24 V DC,1 A,NEC 2 类 (UL 1310):772361
用于标准导轨(1573 型)的电源装置,100 至 240 伏交流/24 伏直流,2 A,NEC 2 级 (UL 1310):772362
用于标准导轨(1573 型)的电源装置,100 至 240 伏交流/24 伏直流,4 A:772363
存储卡
6 针接线端子(8743 型的标准配置,包含在相应模拟型号的供货中) 应要求提供
D-sub 适配器电缆,绞接,电缆长度:5 m:580882
D-sub 适配器电缆,绞接,电缆长度:10 m:580883
技术参数
产地:德国
额定流量范围 (QN):10 ml/min 至 100 l/min(N2)
Max工作压力(超压至大气压):MFM:10 bar;对于 MFC,Max工作压力取决于介质和公称阀尺寸。
测量精度:± 0.8 %;读数 ± 0.3 % FS(校准条件下)
重复性:± 0.1 % FS
测量范围:1:20(QN < 25 ml/min),1:50(QN > 25 ml/min)
温度系数:± (0.05 % FS +0.05 % 读数)/K(校准和调整时与气体温度的偏差)
压力系数:± 0.1 % 读数/巴(校准和调整时与工作压力的偏差,指 N2)
稳定时间(MFC)/响应时间(MFM)(t95 %):< 2 s
控制阀(比例阀):常闭
阀孔:0.05 至 4 mm
KVS 值范围:0.00006 至 0.32 m3/h
工作电压:24 V 直流
MFM耗电量:1 至 3 W
MFC耗电量:Max 3 至 19 W(取决于比例阀类型)
残余纹波:± 2 %
电压容差:± 10 %
电气连接模拟接口:D-Sub 9 或端子台,6 针
工业以太网型号:2 x RJ45(交换机)
Modbus RTU 型号:D-Sub 9
工作介质:腐蚀性和中性纯净气体(根据要求提供其他介质)
校准介质:氮气
介质温度:-10 至 +40 ℃
防护等级:IP 20
证书:材料证书 3.1(可选)