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ENTEGRIS电子流量计4400T0F2B12AP7U3
  • ENTEGRIS电子流量计4400T0F2B12AP7U3

  • 提供同步流量和压力输出。无论是自动化、过程控制还是保障问题都需要流量和压力测量,仪表须清洁、准确、可靠。为满足半导体行业的需求,Entegris 将新型的电子传感技术与高纯度材料相结合,创造出可更好地控制过程变量的产品。InVue NT4400 电子流量计专为半导体行业的高纯应用而设计,可与高腐蚀性工艺兼容。穿流设计很大限度地减少了死体积,降低了工艺污染的可能性。该仪器的所有润湿部件均采用聚四氟乙烯和其他高纯度含氟聚合物。该仪器采用非金属压力传感技术,利用压差提供准确可靠的流量和压力测量。流量和压力测量不受气泡或残留蒸汽的影响。所有产品均在出厂前经过校准和 完整验证,无需现场校准,安装简单。标准电子输出可与 PLC、控制系统和电子显示器轻松集成。

    性能特点

    无运动部件,不会产生微粒

    非金属传感技术,测量可靠

    内置压力传感器,可提供额外的过程信息

    流过式设计可很大限度地减少死体积

    1 % 满刻度精度,用于关键测量

    易于在任何方向安装

    选型指南

    技术参数

    产地:美国

    润湿部件主体:聚四氟乙烯

    传感器接口:PFA 或 CTFE

    主密封件:Perfrez

    非润湿部件:聚丙烯、聚乙烯、PVDF 和 PVC 或 FEP 护套电缆(除上述材料外)

    工艺温度:10 至 65 °C (50 至 149 °F)

    电气输入:24 VDC(12至28 VDC 输入电压)

    电气输出:两个 4至20 mA 隔离输出,一个为流量输出,一个为出口压力输出

    压降:80 % 流量时为 21 kPa (3 PSID),10:1 降压比

    流量测量精度

    量程的 20 %至满:± 1.0 % FS

    量程的 10 至 20 %:± 2.5 % FS

    (精度以满量程 FS 的百分比表示,使用 70 °F [23 °C] 下的去离子水,包括线性、滞后和重复性的综合影响)

    量程的 20 %至满:± 0.5 % FS

    量程的 10 至 20 %:± 1.0 % FS

    压力测量范围:0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

    Min工作压力(出口处):7 kPa (1 psig)

    Max工作压力:414 kPa (60 psig)

    过压限制:690 kPa (100 psig)

    压力测量精度:满刻度的 ± 1 %(包括线性、滞后和重复性的综合影响)

    电气外壳:IP54

    符合认证:CE、ETL

    符合标准:ANSI/ISA  12.12.01、UL 标准 61010-1

    产品尺寸

    LOGO

    於万里 15371083762於万里 15371083762

    无锡市锡山区安镇街道山河路50-41-2102无锡市锡山区安镇街道山河路50-41-2102

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    二维码

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