产品介绍
微处理器驱动的数字流量控制器可通过 RS-485 接口（可选 RS-232）与计算机一起对各种气体的流量进行编程、记录和分析。可对控制器的各种控制功能进行编程，包括流量设定点、累加器、停止累加器、读取累加器、从预设流量开始累加、在预设总量时停止、自动归零等。计量气体分为两条层流路径，一条通过主流管，另一条通过毛细传感器管。两个导流管的设计都是为了确保层流，因此它们的流速比是恒定的。传感器管上的两个温度感应绕组被加热，当发生流动时，气体将热量从上游绕组带到下游绕组。由此产生的温差与传感器绕组的电阻变化成正比。惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度相关的电阻梯度，该梯度与瞬时流速成线性比例。惠斯通电桥的输出通过 12 位 ADC（模数转换器）转换为数字格式。板载微处理器和非易失性存储器存储所有校准因子，并直接控制比例电磁阀。数字闭环控制系统可持续比较质量流量输出与所选流量。与设定点的偏差通过补偿阀调节进行校正，采用 PID 算法，从而高精度地保持所需的流量参数。输出信号为 0 至 5 伏直流或 4 至 20 mA，显示基于质量分子的计量气体流量。
性能特点
数字和模拟模式运行
可编程流量配置
可用流量范围从 0 至 10 sccm 到 0 至 100 slpm
Max压力为 1000 psig（70 bars）
多达 256 个单位的多点传送能力
可存储多达 10 种气体的校准数据
累加器显示气体总量
高低气体流量报警限值
多达 256 种气体的换算系数
自动调整功能可实现更好的控制响应
自诊断测试
选型指南
