性能特点
- 高精度，将流量控制在设定值的 ± 1%以内
- 快速响应3 秒
- 2 种类型的控制阀应用范围广
- 广泛的流量控制能力
- 全PTFE/PFA 润湿部件结构 - 确保与高压液体化学品、去离子水和 CMP 浆料兼容（浆料模块配有铂固化硅胶管）
技术参数
产地：美国
标准满量程范围：50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000 mL/min
精度：（室温DIW）：设定点的 ±1% 或± 3mL/min（以较大者为准）
重复性：设定值的 ±1% 或 ±1 mL/min（以较大者为准）
控制重复性：±设定点的 0.5% 或 ±0.5mL/min（以较大者为准）
流量控制时间：< 3 秒
流体温度：10℃- 60℃
环境温度：0 - 40℃
环境湿度：30 - 80% RH，不结露
预期工作压力Max：50 磅/平方英寸
内部压力Max：70 磅/平方英寸
压差范围：7 至 30 psid
非接液部件外壳材料：PPS、PEEK、亚克力、乙烯基、PVC
接液部件材料：PFA、PTFE、铂固化有机硅
阻燃：FMET4325
安装方向：水平或垂直
流体连接：入口/出口：1/4" 或 3/8"，扩口或柱形
流量限制（孔口）：> 2 mm
入口防护等级：IP64
电源输入：24 V±10 %
电流消耗Max：0.5 A
控制信号输入：0 至 10 V或 4 至 20 mA
流量信号输出：0 至 10 V或 4 至 20 mA
产品应用
半导体CMP工具
基于蠕动泵的输送系统
控制清洁化学品的混合和输送
流体混合
点胶应用