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ENTEGRIS流量控制器6500
  • ENTEGRIS流量控制器6500

  • 无论是自动化、过程控制还是保障问题,都需要对液体化学品和 CMP 泥浆进行准确的流量控制,因此仪表须清洁、准确和可靠。Entegris 采用新型的电子技术和高纯度材料,设计出的液体流量控制器,可更好地控制工艺流量变量。NT集成流量控制器 (IFC) 6500 型专为高纯液体化学仪器和浆料应用而开发。该仪器的阀座和隔膜设计用于大限度地减少死体积和流体剪切力,从而降低工艺污染的可能性。IFC 6500 型的润湿部件采用含氟聚合物,非润湿部件采用惰性材料,可抵御恶劣的化学环境和外部喷淋。NT IFC 6500 型采用双聚四氟乙烯阀门隔膜,用于流体密封和污染保护。采用的电动阀和流量计技术,封装的内部电子元件可控制流量控制器的所有方面。该装置由设定点信号(即 4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC)激活,以将流体流量保持在所需的设定点。

    用于高纯度应用的 PTFE 润湿表面

    非金属组件具有耐腐蚀性

    内置压力传感器提供额外的过程信息

    在关键分配应用中可获得百分之一 (1%) 的满量程精度

    占地面积小,便于在空间有限的地方进行现场安装

    快速响应,实现准确的分配率

    选型指南

    技术参数

    产地:美国

    润湿部件阀体材质:PTFE

    润湿部件膜片材质:PTFE

    传感器接口材质:PFA 或 CTFE

    主 O 形圈材质:Perfrez

    非润湿部件:聚丙烯、FEP、PVDF 和氟橡胶(除上述材料外)

    工艺温度:10 至 65 ℃(50 至 149 °F)

    电气输入:24VDC(± 10 %)@ 1 A

    电气输出:两个 4-20 mA 电气隔离输出,一个用于流量,一个用于压力

    流量测量:

    在 20-满流量范围内为满量程的 ± 1 %

    流量范围的 10-20% 时为满量程的 ± 2.5 %

    (使用去离子水在 23 °C [73 °F] 下进行校准)

    重复性:流量范围 20-满 时,满量程的 ± 0.5 %;流量范围 10-20 % 时,满量程的 1 %。

    压力测量范围:0 至 414 kPa (0- 60 psig)

    Min工作压力(入口处):69 kPa (10 psig)

    Max工作压力:414 kPa (60 psig)

    过压限制:690 kPa (100 psig)

    压力测量精度:满刻度的 1 %(包括线性、滞后和重复性的综合影响)

    电气外壳:IP54

    可靠性:浸湿部件,>300 万次循环

    响应时间:< 3 秒(10 % 至 95 % 满量程流量范围)

    设定点输入信号:4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

    符合认证:CE

    产品尺寸

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    於万里 15371083762於万里 15371083762

    无锡市锡山区安镇街道山河路50-41-2102无锡市锡山区安镇街道山河路50-41-2102

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    二维码

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