技术参数
所有清洁气体，包括有毒和腐蚀性
高精度：满量程的+/- 0.5％
精度：满量程的+/- 1％
重复性：满量程的+/- 0.2％
流量范围从0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）
更高和更低的流量范围
压力至500 psig（34.5 barg）
气体/环境温度32°F至122°F（0°C至50 C）
响应时间：300ms时间常数：2秒（典型值），在终值的±2％之内（包括建立时间），根据要求提供更快或更慢的速度
24 VDC电源
密封件：Viton，Neoprene，Karlez
316不锈钢结构
包括模拟或数字信号：RS-232，RS-485（多点），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
数字通信： 基金会现场总线 和 Modbus RTU
规格参数
所有清洁气体，包括有毒和腐蚀性
高精度：满量程的+/- 0.5％
精度：满量程的+/- 1％
重复性：满量程的+/- 0.2％
流量范围从0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）
更高和更低的流量范围
压力至500 psig（34.5 barg）
气体/环境温度32°F至122°F（0°C至50 C）
响应时间：300ms时间常数：2秒（典型值），在终值的±2％之内（包括建立时间），根据要求提供更快或更慢的速度
24 VDC电源
密封件：Viton，Neoprene，Karlez
316不锈钢结构
包括模拟或数字信号：RS-232，RS-485（多点），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
数字通信： 基金会现场总线 和 Modbus RTU